Легирующая примесь

нелегированный

S

Zn

Тип проводимости

n

n

p

Концентрация носителей, см^-3

≤1x 10¹⁶

1x10¹⁷ - 2x10¹⁸

2x10¹⁷ - 2x10¹⁸

Подвижность, см²/В.с

≥100

≥60

≥60

Плотность дислокаций, см^-2

≥2x10⁵

≥2x10⁵

≥2x10⁵

Диаметр, мм

50.8 ± 0.3           76.2 ± 0.3

Толщина, мкм

300 ± 15             400 ± 15

Ориентация поверхности

(100)                   (111) 

Точность ориентации

± 0.5°                   ± 0.1°  

Отклонение от точной ориентации

(1 - 10)  ± 0.1° в заданном направлении

Базовый и дополнительный срезы

По стандарту SEMI M9, US SEMI и E/J SEMI

Обработка поверхности
                    лицевая сторона
                    обратная торона 

полированная, годная к эпитаксии
полированная, шлифовано-травленая

Упаковка

индивидуальная