| ОСНОВНЫЕ ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ МИШЕНЕЙ |  |
|
Материал |
Применение |
|
|
Ванадий |
V |
Резисторы
в ИС |
|
Вольфрам |
W |
Контакты
в ИС; металлизация, диффузионные
барьеры |
|
Гадолиний |
Gd |
Покрытия на носители информации |
|
Гафний |
Hf |
Диэлектрик
в ИС, покрытие архитектурного стекла |
|
Ge |
Оптические
ИК фильтры |
|
| Железо | Fe | Покрытия на носители информации |
|
Иттрий |
Y |
Сверхпроводящие
соединения в ИС |
|
Si |
Затворы
ИС, пассивация ИС, фильтры,
антиотражающие покрытия,
полупрозрачные покрытия на стекло,
покрытия на дисплеи, гибкие пленки |
|
|
Mo |
Контакты
в ИС, барьеры, соединения; покрытия
на дисплеи; оптика |
|
|
Nb |
Проводящие
слои в ИС |
|
|
Тантал |
Ta |
Конденсаторы
в ИС, покрытия на дисплеи, покрытия на стекло,
гибкие пленки |
|
Тербий |
Tb | Покрытия на носители информации |
|
Ti |
Контакты
в ИС, барьеры, соединения; покрытия на дисплеи,
адгезионные слои, вакуумные геттеры,
защитные покрытия архитектурного
стекла, антикоррозийные покрытия,
износостойкие покрытия режущего
инструмента |
|
|
Хром |
Cr |
Металлизация
обратной стороны ИС; базовое покрытие CD
и DVD
носителей данных, тонкие защитные
пленки на жесткие диски магнитной
памяти; широкополосные фильтры;
адгезионные слои; прочные покрытия на
дисплеи, архитектурное стекло;
хромирование деталей автомобилей |
| Цинк | Zn | Токопроводящие прозрачные плёнки |
|
Цирконий |
Zr |
Интерференционные
фильтры, износостойкие покрытия на
стекло, режущий инструмент,
декоративные покрытия |