МИШЕНИ ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
Cr/Ni/Si


ООО "ГИРМЕТ"
предлагает резистивные мишени из сплава РС 3710 (хром 37%, никель 10% , кремний 53% )  изготовленные по новой технологии, которая в отличие от традиционной порошковой технологии обеспечивает высокую плотность мишеней, и однородность по составу.

Мишени из резистивных сплавов  предназначены для изготовления тонкопленочных резисторов методом ионно-плазменного распыления. Использование мишеней позволяет получать высокоомные тонкопленочные резисторы с улучшенными характеристиками, расширить диапазон удельных сопротивлений резисторов в более низкую область и повысить их временную стабильность, а также заменить многослойный проводящий слой пленкой из одного материала. Пленка из одного материала обладает комплексом эксплуатационных свойств, полностью удовлетворяющих требованиям к проводящему слою микросхемы.

Мишень имеет зернистую структуру с размером зерна 2-4 мм


Состав сплава
Cr   37%
Ni    10%
Si    53%

 

Возможные составы  мишеней из резистивных  сплавов

[Материалы и источники для получения тонких пленок]
[Главная страница 
ООО "ГИРМЕТ"
119017, Москва, Б.Толмачевский пер.,  д. 5, Россия
Teл: (495) 956-0918, факс: (495) 956-4944
E-mail:
sales@girmet.com