| МИШЕНИ ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ | Cr/Ni/Si |
| |
|
Мишени из резистивных сплавов предназначены для изготовления тонкопленочных резисторов методом ионно-плазменного распыления. Использование мишеней позволяет получать высокоомные тонкопленочные резисторы с улучшенными характеристиками, расширить диапазон удельных сопротивлений резисторов в более низкую область и повысить их временную стабильность, а также заменить многослойный проводящий слой пленкой из одного материала. Пленка из одного материала обладает комплексом эксплуатационных свойств, полностью удовлетворяющих требованиям к проводящему слою микросхемы. |
|||
|
Мишень имеет зернистую структуру с размером зерна 2-4 мм |
Состав сплава Cr 37% Ni 10% Si 53% |
| |
Возможные составы мишеней из резистивных сплавов
[Материалы
и источники для получения тонких пленок]
[Главная
страница]
ООО "ГИРМЕТ" 119017, Москва, Б.Толмачевский
пер., д. 5, Россия
Teл: (495) 956-0918, факс: (495) 956-4944
E-mail: sales@girmet.com